樣品制備在掃描電鏡分析中占有重要地位，它關(guān)系到微觀圖像的觀察效果。如果制備的樣品不適用于掃描電鏡SEM的觀察條件，則很難拍攝出好的圖像。眾所周知，理想的掃描電鏡樣品一定是導(dǎo)電性非常好的，例如金顆粒、錫球等金屬類材料。對(duì)于不導(dǎo)電的樣品，如生物材料、紙張、塑料和陶瓷等，容易造成放電、圖像漂移等現(xiàn)象，這些都是荷電效應(yīng)產(chǎn)生的。

產(chǎn)生荷電效應(yīng)的原因

導(dǎo)電性良好的樣品在受到高能電子束轟擊后多余的電子會(huì)通過(guò)導(dǎo)電膠和導(dǎo)電樣品臺(tái)被直接導(dǎo)入大地，保持樣品表面的電勢(shì)一直為零。

如果試樣不導(dǎo)電或者雖然導(dǎo)電但粘貼不好，隨著觀察時(shí)間增加，入射電子束會(huì)導(dǎo)致樣品的表面積累負(fù)電荷，該層負(fù)電荷會(huì)對(duì)入射電子束和激發(fā)的信號(hào)產(chǎn)生影響，造成圖像扭曲，局部過(guò)亮失去細(xì)節(jié)影響圖像的觀察，甚至完全無(wú)法觀察。樣品表面的荷電效應(yīng)是可以改變或甚至破壞樣品的細(xì)節(jié)，從而影響電鏡觀察的結(jié)果和結(jié)論。

如何減緩荷電效應(yīng)

由于材料不同，荷電效應(yīng)的可見(jiàn)速度有很大差異。如下是一些可以減緩荷電效應(yīng)的方法：

1. 用噴金設(shè)備濺射金膜涂覆樣品以減緩荷電。金膜越厚，效果越好。但是需要注意不要用金膜遮蓋樣品表面的細(xì)節(jié)。

2. 降低樣品杯真空。通過(guò)選擇掃描電鏡SEM的降低荷電效應(yīng)樣品杯，可以在樣品杯釋放穩(wěn)定的空氣分子形成低真空區(qū)，高能的電子束可以將空氣分子電離形成正離子，試樣表面累積的負(fù)電荷通過(guò)與正離子中和使樣品表面保持中性，從而可以采集到穩(wěn)定和清晰的圖像。

3. 降低拍照電流和電子束加速電壓。

4. 在樣品的非重要部分通過(guò)調(diào)整圖像設(shè)置（例如焦點(diǎn)和對(duì)比度）來(lái)減少觀察時(shí)間。當(dāng)設(shè)置到正確合適的模式，移動(dòng)到感興趣的區(qū)域，立即拍照并再次離開(kāi)。

不導(dǎo)電或?qū)щ姴畹臉悠罚瑸槭裁匆獓娊穑?/span>

掃描電鏡成像，是通過(guò)detecter獲得二次電子和背散射電子的信號(hào)。如樣品不導(dǎo)電或?qū)щ娦圆缓茫瑫?huì)造成樣品表面多余電子或游離粒子的累積不能及時(shí)導(dǎo)走，一定程度后就反復(fù)出現(xiàn)充電放電現(xiàn)象（charging)，*終影響電子信號(hào)的傳遞，造成圖像扭曲，變形、晃動(dòng)等現(xiàn)象，噴金后樣品表面導(dǎo)電增強(qiáng)，從而避免積電現(xiàn)象。

噴金后，對(duì)樣品形貌是否有影響？

樣品表面噴金后，只是在其表面覆蓋了幾個(gè)到十幾個(gè)金原子層，厚度只有幾個(gè)納米到十幾個(gè)納米而已，對(duì)于看形貌來(lái)說(shuō)，幾乎是沒(méi)有什么影響的。

磁性樣品會(huì)對(duì)電鏡有影響嗎？

電子槍發(fā)射出的電子，一般都是由磁場(chǎng)匯聚，當(dāng)樣品含有磁性的時(shí)候很容易磁化電鏡的"心臟"部件-極靴，同時(shí)容易吸附到極靴表面或光學(xué)通道上，因此磁性樣品的測(cè)試可能會(huì)給電鏡帶來(lái)?yè)p害，承接磁性樣品的檢測(cè)單位也需要去承擔(dān)相應(yīng)的風(fēng)險(xiǎn)。