樣品導(dǎo)電導(dǎo)熱性能要好。掃描電鏡聚焦成像時(shí)，電子束直接照射樣品表面，如果樣品材料不導(dǎo)電會(huì)產(chǎn)生荷電效應(yīng)(也稱充電效應(yīng))。負(fù)電荷電子局部積累，抑制入射電子和出射信號(hào)，引起圖像變形和位移，無法進(jìn)行聚焦。

解決方案：

針對(duì)不導(dǎo)電樣品，可以采用噴鍍碳或金屬以提高材料的導(dǎo)電、導(dǎo)熱性能，同時(shí)還能增強(qiáng)樣品信號(hào)發(fā)出量。在樣品表面噴鍍導(dǎo)電膜，對(duì)能譜檢測(cè)結(jié)果有所影響，針對(duì)有些無法噴鍍的樣品，可采用低真空模式觀察樣品以緩解荷電效應(yīng)。