Park公司簡介：

　　 帕克原子力顯微鏡（Park Systems,以下稱Park）是一家專門從事納米設(shè)備測量的公司。Park致力于新技術(shù)開發(fā)，始終是納米顯微鏡和計量學(xué)領(lǐng)域的創(chuàng)新者。Park在AFM技術(shù)發(fā)展中發(fā)揮著舉足輕重的作用，制造和銷售具有全自動化軟件且使用方便的高精度原子力顯微鏡（AFM）。截至2021年4月20日，Park股票估值超過了一兆（萬億）韓元。

樸尚一（Sangil Park)博士和他的導(dǎo)師Calvin Quate教授

　　為夢想而堅守

　　1985年

　　樸尚一博士所在的課題組（師從Calvin Quate教授）研發(fā)出世界首臺原子力顯微鏡

　　1988年

　　樸尚一博士在美國硅谷創(chuàng)立了Park Scientific Instruments公司(PSI)

　　1997年

　　樸尚一博士將年銷量為1200萬美金的PSI以1700萬美金的價格轉(zhuǎn)賣給了美國測量設(shè)備公司Thermo Micro.

　　1997年

　　樸尚一博士回到韓國，創(chuàng)立PSIA公司，即為后來的Park原子力顯微鏡公司。

　　1997年4月

　　PSIA(株)成立（資金5億韓元）

　　1998年7月

　　中小企業(yè)廳風(fēng)險投資企業(yè)確認(rèn)

　　1998年10月

　　被韓國產(chǎn)業(yè)資源部評定為工業(yè)為主技術(shù)開發(fā)公司

　　2000年04月

　　韓國科學(xué)技術(shù)部頒發(fā)國家研究獎（NRL）

　　2002年7月

　　獲得NT Mark(New Technology)新技術(shù)認(rèn)證

　　2002年

　　消除串?dāng)_技術(shù)的發(fā)展（XE），從而提高了原子力顯微鏡的反饋和成像

　　2003年4月

　　成立美國分公司（PSIA Inc.）

　　2003年5月

　　被韓國科學(xué)技術(shù)部選為核心技術(shù)開發(fā)產(chǎn)業(yè)（Nano）

　　2003年10月

　　獲得**標(biāo)志認(rèn)證（XE-100, XE-150產(chǎn)品型號）

　　2004年2月

　　獲得“工業(yè)技術(shù)獎”

　　2004年

　　真正非接觸模式（True Non-contact Mode）實現(xiàn)無損樣品掃描

　　2005年1月

　　被評為2004年韓國十大新技術(shù)企業(yè)（原子力顯微鏡技術(shù)）

　　2005年7月

　　獲得ISO 14001環(huán)境管理體系認(rèn)證

　　2006年1月

　　獲得韓國高新技術(shù)認(rèn)證（NEP， New Excellence Product）

　　2007年1月

　　成立日本分公司

　　2007年4月

　　法人名更改為Park Systems Corp.

　　2007年12月

　　被知識經(jīng)濟(jì)部評為"世界**商品生產(chǎn)企業(yè)"

　　2008年3月

　　“韓美未來產(chǎn)品經(jīng)營大獎”

　　2008年7月

　　獲得 ISO ****質(zhì)量管理體系認(rèn)證

　　2008年8月

　　XE-3DM：用于高分辨率3D測量的全新3D原子力顯微鏡

　　2008年11月

　　XE-Wafer: 用于在線晶圓檢測和計量的自動化工業(yè)AFM

　　2009年5月

　　通過了Hynix海力士半導(dǎo)體的"Preliminary Performance Test"

　　2009年6月

　　榮獲彼得.德魯克創(chuàng)新獎

　　2010年1月

　　獲得國家核心技術(shù)獎（工業(yè)型原子力顯微鏡技術(shù)）2010-11號

　　2010年12月

　　韓國十大新技術(shù)獎（XE-3DM技術(shù)）-知識經(jīng)濟(jì)部

　　2010年12月

　　韓國技術(shù)大賞銀獎（XE-3DM技術(shù)）（經(jīng)濟(jì)部長獎）

　　2011年

　　Park NX10新品出市：全新產(chǎn)品系列的*優(yōu)原子力顯微鏡

　　2012年8月

　　NanoKorea 2012知識經(jīng)濟(jì)部長獎

　　2012年8月

　　新加坡分公司成立

　　2012年10月

　　Park NX-Wafer: 全自動晶圓檢測原子力顯微鏡

　　2012年

　　Park NX20新產(chǎn)品：用于故障分析和大型樣品掃描的**納米計量工具

　　2013年6月

　　被選為 INNO-BIZ(技術(shù)創(chuàng)新中小企業(yè)) (13.06.20~16.06.19)

　　2013年

　　Park NX-HDM: 實現(xiàn)硬盤介質(zhì)和半導(dǎo)體襯底的全自動化缺陷檢查和亞埃米級表面粗糙度測量

　　2014年

　　Park SmartScan: 通過Park劃時代創(chuàng)新自動成像技術(shù)，實現(xiàn)SmartScan軟件的三次點擊成像

　　2015年2月

　　與IMEC達(dá)成JPD協(xié)議以開發(fā)用于半導(dǎo)體制造業(yè)的納米級原子力顯微鏡計量學(xué)

　　2015年5月

　　被選為國家產(chǎn)業(yè)核心技術(shù)事業(yè)項目 (2015.06~2018.05)-韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部

　　2015年8月

　　首次在KOSDAQ（科斯達(dá)克）評估信息中獲得AA等級技術(shù)評估，技術(shù)保證金

　　2015年9月

　　被指定為國家核心技術(shù)（原子力顯微鏡制造技術(shù)） -韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部

　　2015年12月

　　在科斯達(dá)克（KOSDAQ）上市，首次公開募股

　　2015年6月

　　NX-3DM:失效分析，質(zhì)量監(jiān)控和工藝改進(jìn)的*佳原子力顯微鏡

　　2015年

　　Park NX-Hivac: 用于故障分析和氣壓敏感材料研究的高真空原子力顯微鏡

　　2016年6月

　　榮獲第8屆韓國KOSDAQ獎"*佳下一代企業(yè)獎"

　　2016年6月

　　被選為INNO-BIZ(技術(shù)創(chuàng)新中小企業(yè)) (A等級，16.06.20~19.06.19)

　　2016年7月

　　2016弗若斯特沙利文（Frost＆Sullivan）“全球技術(shù)支持**獎”

　　2016年12月

　　產(chǎn)業(yè)通商資源部頒發(fā)2016年"**5屆產(chǎn)業(yè)技術(shù)獎"

　　2016年

　　Park NX20 300mm: 可用于300 mm晶片圓測量和分析的自動化納米測量工具

　　2017年2月

　　成立中國臺灣分公司

　　2017年3月

　　成立歐洲分公司

　　2017年

　　Park NX12: 多功能原子力顯微鏡平臺，滿足納米級測量的需求

　　2018年5月

　　2018年科斯達(dá)克（KOSDAQ）后起之秀企業(yè)

　　2018年6月

　　第十屆韓國科斯達(dá)克（KOSDAQ）大賞***技術(shù)企業(yè)獎

　　2018年9月

　　中國北京分公司成立

　　2018年11月

　　科學(xué)技術(shù)信息通信部，產(chǎn)業(yè)通商資源部頒發(fā)2018年十大納米技術(shù)獎

　　2018年12月

　　入選2018年*有前途半導(dǎo)體技術(shù)解決方案企業(yè)

　　2019年7月

　　再次被選為2019年科斯達(dá)克（KOSDAQ）后起之秀企業(yè)

　　2019年7月

　　獲NanoKorea 2019年韓國國務(wù)總理表彰獎

　　2020年2月

　　Park NX-TSH: 專為超大納米平板顯示器測量設(shè)計的自動化原子力顯微鏡

　　2020年3月

　　IMEC與Park公司簽署第二期JDP協(xié)議合作開發(fā)用于半導(dǎo)體制造的納米計量解決方案

　　2020年5月

　　Park原子力顯微鏡完成其對Molecular Vista的股權(quán)投資

　　2021年1月

　　2020年福布斯亞洲10億美元200強(qiáng)企業(yè)榜單 -Park原子力顯微鏡公司上榜

　　2021年2月

　　Park SmartLitho?-*簡易的納米光刻和納米操作的智能化軟件

　　2021年4月

　　在科斯達(dá)克（KOSDAQ）突破一兆（萬億）韓元的關(guān)口

　　Park研發(fā)之路

　　"前世今生"

　　近40年間，樸尚一博士致力于原子力的發(fā)展。1985年，樸尚一博士在斯坦福大學(xué)Calvin Quate教授課題組攻讀博士學(xué)位期間，親身參與并見證了首臺AFM的誕生。該成果發(fā)表在1986年3月的“物理評論快報”上，該成果的共同作者單位為Gerd Binnig(IBM公司阿爾瑪?shù)茄芯恐行?、Christoph Gerber(IBM公司蘇黎世研究實驗室)、Calvin Quate教授(斯坦福大學(xué))。

　　 1988年，樸尚一博士在美國硅谷創(chuàng)立了Park Scientific Instruments公司(PSI)，PSI作為全球*初的商業(yè)化AFM公司在硅谷獲得了巨大成功，公司僅用三年時間，銷售業(yè)績就達(dá)到了595萬美金，相比于創(chuàng)業(yè)之初的1988年，業(yè)績實現(xiàn)了超過10倍的暴風(fēng)式增長。1 997年， PSI以1700萬美金的收購價格被美國測量設(shè)備公司Thermo Micro全資收購。

　　 1997年，樸尚一博士回到韓國并于當(dāng)年成立了PSIA公司。伴隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的崛起，PSIA公司著力于開發(fā)適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的計量型原子力顯微鏡。1998年，PSIA公司推出了首款可以對8英寸Wafer進(jìn)行缺陷檢測的原子力顯微鏡"SM5-200"。

　　 2000年，PSIA公司根據(jù)LCD產(chǎn)業(yè)的需求，推出了世界上首臺不用破片的大尺寸LCD產(chǎn)業(yè)用原子力顯微鏡--600X720 mm液晶顯示器(LCD)。該產(chǎn)品首次實現(xiàn)了原子力顯微鏡檢測的不破片測量，并在同年得到了三星電子的評測認(rèn)可。

　　 但在2001年，由于受制于美國的貿(mào)易政策，PSIA公司不能從美國的公司采購任何主要的美國生產(chǎn)的產(chǎn)品備件，導(dǎo)致公司生產(chǎn)一度停滯。

　　 “求人不如求己！”

　　 面對美國一些貿(mào)易壁壘的經(jīng)營限制條例，樸尚一博士決定借此機(jī)會讓PSIA成為完全的技術(shù)獨立者。在隨后的漫長時間里，他致力于研發(fā)完全本土化的產(chǎn)品。歷盡不為人知的眾多曲折后，PSIA*終推出了世界上首臺掃描器分離的原子力顯微鏡Park XE-100，并且將非接觸模式的算法進(jìn)行了優(yōu)化升級，一舉解決了傳統(tǒng)非接觸模式不能進(jìn)行高分辨掃描的弊端。PSIA推出的非接觸模式成像，在獲得高分辨率的照片的同時，且使探針壽命得到了顯著的提升，有效降低了AFM使用成本。2007年4月，PSIA正式改名為Park Systems (中文名：帕克原子力顯微鏡，以下稱為Park)。

　　 隨后Park還開發(fā)了3D原子力顯微鏡測量技術(shù)，升級款的原子力顯微鏡可以測量類似TSV樣品的側(cè)壁形貌。此項技術(shù)問世后，歐洲**的微電子技術(shù)獨立研發(fā)中心IMEC向Park拋來合作的橄欖枝，并在2015年和Park簽署合作意向書，以便在半導(dǎo)體工藝先進(jìn)制程研發(fā)領(lǐng)域建立長期合作伙伴關(guān)系。

　　總結(jié)語

　　 Park公司成立至今，從包括樸尚一博士在內(nèi)的首次創(chuàng)業(yè)的幾個合伙人，發(fā)展到現(xiàn)在擁有400人的全球公司，實現(xiàn)了質(zhì)的蛻變。截至目前，Park公司市值已超過10億美金，在全球建立了9個分公司和代表處，并于2017年在中國北京成立了韓國帕克服份有限公司北京代表處……毋庸置疑，隨著市場地不斷開拓，Park公司憑借著與時俱進(jìn)的研發(fā)技術(shù)，已經(jīng)成為業(yè)界**的**企業(yè)。接下來Park即將推出一系列新品原子力顯微鏡，并將于2024年擴(kuò)遷公司總部，以更好地推進(jìn)公司的運(yùn)營和發(fā)展。Park將為科學(xué)和工業(yè)實驗室引入一種具有人工智能和機(jī)器人智能化的全新全自動化原子力顯微鏡 ，敬請期待！