按鹵素檢測儀的工作條件，鹵素檢漏儀的檢漏方法有真空法和加壓法兩種：
(1)真空法。將檢漏管裝在被檢系統上并共同抽真空。檢漏時，用噴槍在被檢系統可疑處噴吹。若有漏孔時，示漏氣體經漏孔進入被檢系統和檢漏管，產生鹵京效應，離子流Ii劇增，在指示儀表和蜂鳴器同時反映出來。據此可判定漏孔位置并粗略地估計漏孔漏率。此法使用固定式鹵素檢漏儀。
(2)加壓式。將示漏氣體壓人被檢系統中，使其壓力高于大氣雎。檢漏時，用探槍在被檢系統外表面可疑處移動，若有漏孔時，從漏孔逸出的示漏氣體就被探槍吸入并進入檢漏管內，產生鹵素效應，離子流Ii劇增，在指示儀表和蜂鳴器同時反映出來，即表示有漏孔存在，并可粗略地估計漏率。此法適用于移動式鹵索檢漏儀。
原則上講，凡含有鹵族元素的氣體物質或其混合物均可用作示漏氣體。但在選用示漏氣體時，要考慮取得難易程度、使用效果、價格以及對設備、人員的危害程度．常用的示漏氣體有氟利昂、氯仿等。氟利昂( )無毒無味，多貯存在高壓鋼瓶內，檢漏效果，因此過去采用氟利昂作示漏氣體的zui多。但出于保護臭氧層的目的，目前已被限制使用。氯仿即三氯甲烷 ，無色，是透明易揮發的液體，臭味特殊、味微甜、遇光易變質，使用效果也較好。另外，還有四氯化碳、三氯乙烯、氟氯烷等也可作示漏氣體。在制冷行業中，許多制冷劑都足含有鹵族元素的物質，因此廣泛采用鹵素檢漏儀進行系統檢漏。
鹵求檢漏儀適用的壓力范圍為：10～10 Pa，zui小可檢漏率qIdmin。為10 ～10 Pa 。
